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Surveillez et contrôlez le dépôt simultané de jusqu'à 8 matériaux, vitesses de
dépôt comprises entre 0,1 et 10 000 Å/s Contrôle
intégré du processus de traitement des couches minces EIES et QCM,
12 sorties relais et 12 entrées numériques Logiciel
Windows de configuration et de fonctionnement
Compatible avec les capteurs INFIÇON Sentinel®