Inficon 200 AMU CPM Spectromètres de masse

200 AMU CPM

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Prêt pour l'ALD avec une vitesse de mesure de 1,8 ms par point (555 points par seconde) Durabilité et fiabilité
éprouvées sur le terrain dans les applications CVD et de gravure les plus exigeantes Intégration des applications : Transpector CPM devient un puissant outil de surveillance et de diagnostic des processus lorsqu'il est intégré au logiciel FabGuard et soutenu par les experts en
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automatisé : garantit la stabilité et la précision des données à long terme pour l'adaptation capteur à capteur et

outil à chambre d'outil

Caractéristiques

Fabricant Inficon
Pays
Numéro d'article 200 AMU CPM

Spécifications techniques

Catalogues